哈工大牵头的国家重点研发计划“基于局域化应力调控石墨烯/六方氮化硼/石墨烯垂直异质结电子隧穿行为的高精度气压传感器”项目启动

哈工大全媒体（张甲/文）日前，由机电工程学院张甲教授担任项目负责人的2022年度国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“基于局域化应力调控石墨烯/六方氮化硼/石墨烯垂直异质结电子隧穿行为的高精度气压传感器”项目启动暨实施方案咨询会在北京召开。

张甲教授代表项目组围绕项目背景与关键问题、研究内容与任务分解、具体技术路线、预期成果、组织保障等内容作了汇报。各任务负责人就所承担的任务情况及具体实施方案作了详细汇报。

专家组充分肯定了项目实施方案与项目团队前期工作成果，并就项目具体实施细节、量化考核方式、团队间组织协作等方面提出指导性建议。

该项目由哈工大牵头，中国电科49所参与。项目拟基于石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结，构筑新型垂直隧穿型气压传感器，建立大气压力—异质结内应力—隧穿电流变化之间的关系模型，从而实现气压分辨力较现有最高值提高一个数量级的目标。此外，通过石墨烯异质结薄膜的无损转移、基于AFM热探针的图案化干净界面电极的制备、红外光界面纯净化方法等手段，有效提升传感信号质量和器件的响应速度。项目的实施将为超高分辨力大气气压传感器的检测原理、设计方法和制造技术提供关键的理论基础和技术支撑。

科工院等相关单位负责人及项目组相关人员参加会议。